Явление термовакуумной проницаемости активных остаточных газов 

Одной из актуальных задач вакуумной техники является предотвращение попадания активных остаточных газов на поверхность изделий ответственного назначения при их термической обработке в вакууме, т. к. это может привести к охрупчиванию поверхностного слоя изделия и снижению ресурса изделия в целом. Активные остаточные газы поступают к поверхности изделия не только за счет противотока паров масла из вакуумных  насосов, но и выделяются с поверхности защитных экранов, предохраняющих стенки вакуумной камеры от высокой температуры при нагреве изделия.

Особую сложность представляет решение такой задачи для крупногабаритных изделий. До недавнего времени эта задача не имела решения. Предлагается новый принцип термовакуумной полупроницаемости активных остаточных газов. Этот принцип состоит в создании системы полупроницаемых экранов вокруг изделия, подвергаемого термической обработке в вакууме. При невысокой температуре эта система должна быть проницаемой с тем, чтобы обеспечить откачку из под нее остаточных газов и создание вокруг изделия требуемой степени разрежения. При повышенной температуре система экранов должна стать практически непроницаемой и предотвратить попадание активных остаточных газов к поверхности обрабатываемого изделия.

Предлагаемая система состоит из нескольких экранов с регламентируемой сквозной пористостью, при чем материал экранов образует устойчивые соединения с активными остаточными газами. При невысокой температуре эта система не задерживает остаточные газы и позволяет создать требуемую степень разрежения в объеме,  прилегающем к изделию. При повышенной температуре молекулы активных остаточных газов могут пролететь через сквозные поры в наружном экране, но при оптимальном выборе соотношения между размерами сквозных пор, удельной пористостью и количеством экранов эти молекулы столкнутся с поверхностью последующих экранов и образуют устойчивые соединения с активными остаточными газами, не попадая, таким образом к поверхности обрабатываемого изделия.